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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1117109(A) 申请公布日期 1999.01.22
申请号 JP19970165823 申请日期 1997.06.23
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP;RYODEN SEMICONDUCTOR SYST ENG KK 发明人 NAKAMURA TADASHI;OTSU YOSHITAKA;HAYASHI TOMOHIKO
分类号 H01L27/04;H01L21/822;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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