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经营范围
发明名称
ULTRA-HIGH VACUUM APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH1116528(A)
申请公布日期
1999.01.22
申请号
JP19970163576
申请日期
1997.06.20
申请人
JEOL LTD
发明人
SHIRAKAWA AKIRA
分类号
H01J37/18;H01J37/252;(IPC1-7):H01J37/18
主分类号
H01J37/18
代理机构
代理人
主权项
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