发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1116926(A) 申请公布日期 1999.01.22
申请号 JP19970169131 申请日期 1997.06.25
申请人 NEC CORP 发明人 TAKIZAWA TOMOKO
分类号 H01L21/304;H01L21/48;H01L21/50;(IPC1-7):H01L21/50 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址