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发明名称
Verfahren zum Erfassen und Analysieren defekter Halbleiterelemente
摘要
申请公布号
DE69225998(T2)
申请公布日期
1999.01.21
申请号
DE19926025998T
申请日期
1992.04.16
申请人
SHARP K.K., OSAKA, 545, JP
发明人
IMATAKI, TOMOO, KITA-KATSURAGI-GUN, NARA-KEN, JP;SUZUKI, MAMORU, YAMATO-KORIYAMA-SHI, NARA-KEN, JP
分类号
G01R31/308;(IPC1-7):G01R31/308
主分类号
G01R31/308
代理机构
代理人
主权项
地址
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