发明名称 Verfahren zum Erfassen und Analysieren defekter Halbleiterelemente
摘要
申请公布号 DE69225998(T2) 申请公布日期 1999.01.21
申请号 DE19926025998T 申请日期 1992.04.16
申请人 SHARP K.K., OSAKA, 545, JP 发明人 IMATAKI, TOMOO, KITA-KATSURAGI-GUN, NARA-KEN, JP;SUZUKI, MAMORU, YAMATO-KORIYAMA-SHI, NARA-KEN, JP
分类号 G01R31/308;(IPC1-7):G01R31/308 主分类号 G01R31/308
代理机构 代理人
主权项
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