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发明名称 Gas injection system for CVD reactors
摘要
申请公布号 EP0823491(A3) 申请公布日期 1999.01.20
申请号 EP19970305982 申请日期 1997.08.06
申请人 CONCEPT SYSTEMS DESIGN INC. 发明人 MACLEISH, JOSEPH H;MAILHO, ROBERT D;SANGANERIA, MAHESH K;DEL SOLAR, ENRIQUE SUAREZ
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/46;C30B25/10;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44;H01L21/00 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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