发明名称 Improvements relating to silicide formation
摘要
申请公布号 EP0746012(A3) 申请公布日期 1999.01.20
申请号 EP19960108737 申请日期 1996.05.31
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 PARANJPE, AJIT PRAMOD;APTE, PUSHKAR PRABHAKAR;MOSLEHI, MEHRDAD M.
分类号 H01L21/28;H01L21/265;H01L21/285;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/283;H01L23/532;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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