| 发明名称 |
Film thickness controller |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0542177(B1) |
申请公布日期 |
1999.01.20 |
| 申请号 |
EP19920119161 |
申请日期 |
1992.11.09 |
| 申请人 |
MITSUBISHI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
AKASAKA, NORIYUKI |
| 分类号 |
B29C41/24;B29C41/52;B29C47/16;B29C47/88;B29C47/92;B29C55/00;B29C55/02;B29L7/00;G05B13/02;G05D5/03;(IPC1-7):G05D5/03 |
主分类号 |
B29C41/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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