发明名称 Method of forming a buried plate
摘要
申请公布号 GB9825779(D0) 申请公布日期 1999.01.20
申请号 GB19980025779 申请日期 1998.11.26
申请人 SIEMENS MICROELECTRONICS LIMITED 发明人
分类号 H01L27/108;H01L21/225;H01L21/28;H01L21/334;H01L21/8242 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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