发明名称 用于正性光刻胶的混合溶剂系统
摘要 适于用作感光树脂的正作用光敏组合物,它含有至少一种水不溶的碱性水溶液可溶的成膜线性酚醛清漆树脂至少一种邻-重氮萘醌光敏剂和含丙二醇烷基醚乙酸酯和3-甲基-3-甲氧基丁醇的溶剂混合物的组合物,以及制备这种组合物的工艺。
申请公布号 CN1205783A 申请公布日期 1999.01.20
申请号 CN96199202.6 申请日期 1996.12.17
申请人 克拉里安特国际有限公司 发明人 S·F·瓦纳特;M·D·拉曼;D·N·堪那;D·P·奥宾;S·S·笛斯特
分类号 G03F7/004;G03F7/022 主分类号 G03F7/004
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 陈季壮
主权项 1.适于用作感光树脂的光敏正作用光敏组合物,它主要由至少一种水不溶的、碱性水溶液可溶的成膜线性酚醛清漆树脂;至少一种邻-重氮萘醌光敏剂;和含丙二醇烷基醚乙酸酯和3-甲基-3-甲氧基丁醇的感光树脂溶剂混合物构成。
地址 瑞士穆提茨