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发明名称
摘要
申请公布号 JP2848647(B2) 申请公布日期 1999.01.20
申请号 JP19890276972 申请日期 1989.10.24
申请人 TEKISASU INSUTORUMENTSU INC 发明人 ANDORYUU PII REEN;DAGURASU EE UEBU;JEEN AARU FUREDERITSUKU
分类号 C23C16/34;C23C16/30;C23C16/40;H01L21/316;(IPC1-7):C23C16/30 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
主权项
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