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发明名称
摘要
申请公布号 JP2848441(B2) 申请公布日期 1999.01.20
申请号 JP19950317701 申请日期 1995.12.06
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 NAKAJIMA KAZUHIRO
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/04;H01L27/092;H03K19/00;H03K19/0948;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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