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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1112729(A) 申请公布日期 1999.01.19
申请号 JP19970162849 申请日期 1997.06.19
申请人 SONY CORP 发明人 SUZUKI TAMEMOTO
分类号 C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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