| 发明名称 |
METHOD FOR REMOVING IMPURITIES OF CHEMICAL MILLING SOLUTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1112766(A) |
申请公布日期 |
1999.01.19 |
| 申请号 |
JP19970171566 |
申请日期 |
1997.06.27 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
MOEWAKI KENJI;TAJIRI KEISUKE;KAMIHATA TAKAFUMI;ISOBE NORIYA |
| 分类号 |
C23F1/04;C23F1/46;(IPC1-7):C23F1/04 |
主分类号 |
C23F1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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