发明名称 Wafer transport module
摘要
申请公布号 GB2327298(A) 申请公布日期 1999.01.20
申请号 GB19980015090 申请日期 1998.07.10
申请人 发明人
分类号 B65D85/00;B65D85/86;B65G49/07;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65D85/00
代理机构 代理人
主权项
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