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发明名称
THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH1112733(A)
申请公布日期
1999.01.19
申请号
JP19970170008
申请日期
1997.06.26
申请人
MURATA MFG CO LTD
发明人
TAKEUCHI MASAKI
分类号
C23C14/50;(IPC1-7):C23C14/50
主分类号
C23C14/50
代理机构
代理人
主权项
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