发明名称 FORMATION OF LARGE SIZED PRECISE STRUCTURE ON PLATE GLASS AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH1111964(A) 申请公布日期 1999.01.19
申请号 JP19980080056 申请日期 1998.03.27
申请人 CARL ZEISS:FA 发明人 OSTENDARP HEINRICH DR
分类号 C03B23/217;B01J19/12;C03C17/04;H01J9/24;(IPC1-7):C03B23/217 主分类号 C03B23/217
代理机构 代理人
主权项
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