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发明名称 CARRIAGE ASSEMBLY OF WAFER EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 KR0167137(B1) 申请公布日期 1999.01.15
申请号 KR19960042844 申请日期 1996.09.30
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO., LTD. 发明人 LEE, JUNG-HOON
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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