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发明名称 METHOD OF PRODUCING MASTER AND WORKING PATTERN PLATES FOR ETCHING AND PHOTOLITHOGRAPHY APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 KR0164225(B1) 申请公布日期 1999.01.15
申请号 KR19910003688 申请日期 1991.03.07
申请人 DAI NIPPON PRINTING CO., LTD. 发明人 KOBAYASHI, KEI;SHIRAISHI, YOJI
分类号 G03F1/00;G03F1/68;(IPC1-7):G03F1/00;G03F1/08 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
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