| 发明名称 |
PROCEDE DE CARACTERISATION D'UN PHOTOREPETEUR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2755238(B1) |
申请公布日期 |
1999.01.15 |
| 申请号 |
FR19960013478 |
申请日期 |
1996.10.30 |
| 申请人 |
SGS THOMSON MICROELECTRONICS SA |
发明人 |
WEILL ANDRE;ANDRE SANDRINE |
| 分类号 |
G03F7/20;G03F7/23;(IPC1-7):G01M11/00;H01L21/027;G03B27/12;G03B27/72 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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