发明名称 PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION
摘要
申请公布号 KR0161542(B1) 申请公布日期 1999.01.15
申请号 KR19940022133 申请日期 1994.09.02
申请人 HITACHI CHEMICAL CO.,LTD 发明人 HAGIWARA, HIDEO;KAJI, MAKOTO;NUNOMURA, MASATAKA
分类号 G03F7/008;C08G73/10;G03F7/012;G03F7/027;G03F7/028;G03F7/037;G03F7/038;G03F7/075;H01L21/027;H01L21/312;H05K1/00;(IPC1-7):G03F7/075;G03F7/039 主分类号 G03F7/008
代理机构 代理人
主权项
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