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发明名称 Verwendung eines Materials für ein Substrat.
摘要
申请公布号 DE69506292(D1) 申请公布日期 1999.01.14
申请号 DE1995606292 申请日期 1995.01.02
申请人 NISSHINBO INDUSTRIES, INC., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SAITO, KAZUO, C/O NISSHINBO IND. INC., TOKYO RE.C., TOKYO 123, JP;ISHIMATSU, TAKESHI, C/O NISSHINBO IND. INC., TOKYO 123, JP
分类号 C04B35/524;H01L23/34;(IPC1-7):C04B35/524 主分类号 C04B35/524
代理机构 代理人
主权项
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