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发明名称 Verfahren zum Abschätzen der Menge von Bor im Kontakt-Übergangsbereich bei einem kontaktierten Wafer
摘要
申请公布号 DE69414959(D1) 申请公布日期 1999.01.14
申请号 DE1994614959 申请日期 1994.09.23
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MITANI, KIYOSHI, TAKASAKI-SHI, GUNMA-KEN, JP;KATAYAMA, MASATAKE, TAKASAKI-SHI, GUNMA-KEN, JP;NAKAZAWA, KAZUSHI, NAGANO-SHI, NAGANO-KEN, JP
分类号 H01L21/66;H01L21/02;H01L21/762;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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