发明名称 Dünnschichtdickenmessverfahren
摘要
申请公布号 DE69414950(D1) 申请公布日期 1999.01.14
申请号 DE19946014950 申请日期 1994.09.07
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD., KYOTO, JP 发明人 HORIE, MASAHIRO, C/O DAINIPPON SCREEN MFG.CO.LTD., HORIKAWA-DORI, KAMIKYO-KU, KYOTO, JP;FUJIWARA, NARIAKI, C/O DAINIPPON SCREEN MFG.CO.LTD, HORIKAWA-DORI, KAMIKYO-KU, KYOTO, JP;KOKUBO, MASAHIKO, C/O DAINIPPON SCREEN MFG.CO.LTD., HORIKAWA-DORI, KAMIKYO-KU, KYOTO, JP
分类号 G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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