| 发明名称 |
PERFEZIONAMENTO NEL PROCEDIMENTO DI ATTACCO CHIMICO ANISOTROPO DELL'OSSIDO DI SILICIO, IN PARTICOLARE NELLA FABBRICAZIONE DI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
ITRM970430(A1) |
申请公布日期 |
1999.01.14 |
| 申请号 |
IT1997RM00430 |
申请日期 |
1997.07.14 |
| 申请人 |
CONSORZIO EAGLE |
发明人 |
RUSSO FELICE;MICCOLI GIUSEPPE;TORSI ALESSANDRO;CHINTAPALLI KOTESWARA RAO |
| 分类号 |
H01L21/311;H01L21/314;H01L21/8247 |
主分类号 |
H01L21/311 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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