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发明名称
摘要
申请公布号 JP2845690(B2) 申请公布日期 1999.01.13
申请号 JP19920287232 申请日期 1992.10.26
申请人 YAMAGUCHI NIPPON DENKI KK 发明人 FUJINO MASAYUKI
分类号 B65G49/07;C30B25/12;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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