光学投影系统中的薄膜受动镜面阵列及其制造方法

摘要

一种光学投影系统中的薄膜受动镜面阵列(AMA)及其制造方法。薄膜AMA具有带电气线路和接线端子的基底、形成于基底上的驱动器(170)及形成于驱动器上的反射件(190)。驱动器(170)具有多个驱动部,其中相邻的驱动部(171、172)以相反方向相继驱动,从而安装在驱动器上的反射件(190)具有大倾角。因此,增加了由反射件(190)反射的光线的光效率并增大了投影于屏幕上的图像的对比度。此外,由于反射件(190)的倾角更大了,从而光源和屏幕之间的距离也更宽。

主权项

1．一种由第一信号和第二信号驱动的光学投影系统中的薄膜受动镜面阵列，所述光学投影系统中的薄膜受动镜面阵列包括：基底，具有电气线路和接线端子，用于接收外部传来的第一信号并传送第一信号；驱动器，包括第一驱动部和第二驱动部，第一驱动部具有：(i)第一底电极，用于接收第一信号，所述第一底电极形成于所述基底上；(ii)第一顶电极，对应于所述第一底电极，用于接收第二信号，在所述第一顶电极和所述第一底电极之间产生电场；(iii)第一激励层，形成于所述第一顶电极和所述第一底电极之间并由电场加以变形；及(iv)底支承层，形成于所述第一底电极下；第二驱动部与所述第一驱动部连接，其具有：(a)第二底电极，与所述第一底电极一体形成；(b)第二顶电极，对应于所述第二底电极，用于接收第二信号，并在所述第二顶电极和所述第二底电极之间产生电场，所述第二顶电极与所述第一顶电极一体形成；(c)第二激励层，形成于所述第二顶电极和所述第二底电极之间并由电场加以变形，所述第二激励层与所述第一激励层一体形成；及(d)顶支承层，形成于所述第二顶电极上，所述第二驱动部以与所述第一驱动部相反的方向驱动；及一反射装置，用于反射光线，所述反射装置形成于所述第二驱动部上。