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发明名称 Method of monitoring turbo pump operation in ion implantation apparatus for use in manufacturing semiconductors
摘要
申请公布号 GB9825193(D0) 申请公布日期 1999.01.13
申请号 GB19980025193 申请日期 1998.11.17
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD. 发明人
分类号 H01J37/304;H01J37/317 主分类号 H01J37/304
代理机构 代理人
主权项
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