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经营范围
发明名称
CLEANING DEVICE AND CLEANING METHOD
摘要
申请公布号
JPH118215(A)
申请公布日期
1999.01.12
申请号
JP19970157073
申请日期
1997.06.13
申请人
SONY CORP
发明人
ISHIYAMA HIROSHI
分类号
B08B3/10;C02F1/50;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
B08B3/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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