发明名称 CLEANING DEVICE AND CLEANING METHOD
摘要
申请公布号 JPH118215(A) 申请公布日期 1999.01.12
申请号 JP19970157073 申请日期 1997.06.13
申请人 SONY CORP 发明人 ISHIYAMA HIROSHI
分类号 B08B3/10;C02F1/50;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/10
代理机构 代理人
主权项
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