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发明名称 REACTION FURNACE
摘要
申请公布号 JPH118198(A) 申请公布日期 1999.01.12
申请号 JP19970173245 申请日期 1997.06.13
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 IKEDA KAZUTO;YOSHIDA HISASHI;WATABIKI SHINICHIRO
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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