发明名称 POLISHING MECHANISM OF IC TERMINAL IN IC HANDLER
摘要
申请公布号 JPH116857(A) 申请公布日期 1999.01.12
申请号 JP19970193016 申请日期 1997.06.13
申请人 DAITO:KK 发明人 KURIHARA MITSUGI
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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