| 发明名称 |
METHOD OF IMPROVING DETECTION SENSITIVITY OF THIN FILM AND ANALYSIS METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH116804(A) |
申请公布日期 |
1999.01.12 |
| 申请号 |
JP19970161107 |
申请日期 |
1997.06.18 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
RYU KOSUKE;KUDO YOSHIHIRO;KAWATO SEIJI |
| 分类号 |
G01B15/02;G01B15/08;G01N23/20;H01L21/66;(IPC1-7):G01N23/20 |
主分类号 |
G01B15/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
