| 发明名称 |
ACCELERATION SENSOR AND ITS PRODUCTION METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH116841(A) |
申请公布日期 |
1999.01.12 |
| 申请号 |
JP19970158483 |
申请日期 |
1997.06.16 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
OOTSUCHI TETSUO;SUGIMOTO MASAHITO;TOMITA YOSHIHIRO;KAWASAKI OSAMU |
| 分类号 |
G01P15/09;G01P15/125;H01L29/84;H01L41/08;(IPC1-7):G01P15/09 |
主分类号 |
G01P15/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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