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发明名称 QUARTZ-TUBE FLANGE CLAMPING TOOL
摘要
申请公布号 JPH118232(A) 申请公布日期 1999.01.12
申请号 JP19970176456 申请日期 1997.06.17
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 OIKAWA JUNICHI;ONODERA GO
分类号 H01L21/22;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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