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发明名称 ANTIREFLECTION LAYER FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH117134(A) 申请公布日期 1999.01.12
申请号 JP19970159800 申请日期 1997.06.17
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 AZUMA TSUKASA
分类号 G03F7/004;C08L79/04;G03F7/022;G03F7/11;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/11 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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