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发明名称 LOW PRESSURE VAPOR GROWTH EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH116068(A) 申请公布日期 1999.01.12
申请号 JP19970160091 申请日期 1997.06.17
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 MIYAZAKI KAZUKI
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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