发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH116055(A) 申请公布日期 1999.01.12
申请号 JP19970154711 申请日期 1997.06.12
申请人 KAO CORP 发明人 MIYAMURA TAKESHI;KITAORI NORIYUKI;YOSHIDA OSAMU;MIZUNOYA HIROHIDE;ENDO KATSUMI
分类号 C23C14/30;G11B5/85;(IPC1-7):C23C14/30 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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