| 发明名称 |
ELECTRON BEAM STIMULATED PLASMA GENERATING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH117900(A) |
申请公布日期 |
1999.01.12 |
| 申请号 |
JP19970172855 |
申请日期 |
1997.06.13 |
| 申请人 |
KAWASAKI HEAVY IND LTD |
发明人 |
RIYUUJI MAKOTO;MORI YUKITAKA;TOKAI MASAKUNI |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C14/32;C23C16/50;C23F4/00;H01J27/20;H01J37/08;H01L21/203;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J27/20;H01L21/306 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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