| 发明名称 |
VAPORIZATION EQUIPMENT FOR LIQUID RAW MATERIAL, AND ITS OPERATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH116067(A) |
申请公布日期 |
1999.01.12 |
| 申请号 |
JP19970173091 |
申请日期 |
1997.06.12 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
MIYAKE KOJI;HAYASHI TSUKASA |
| 分类号 |
B01J4/00;C23C16/44;C23C16/448;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
B01J4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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