发明名称 LIQUID SOURCE BUBBLER FOR BEING USED FOR CVD
摘要
申请公布号 JPH116065(A) 申请公布日期 1999.01.12
申请号 JP19970158772 申请日期 1997.06.16
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KANEKO MASARU
分类号 C23C16/44;C23C16/448;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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