发明名称 SEMICONDUCTOR TESTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH116868(A) 申请公布日期 1999.01.12
申请号 JP19970160002 申请日期 1997.06.17
申请人 ADVANTEST CORP 发明人 MATSUSHITA SHIGERU
分类号 G01R31/3183;(IPC1-7):G01R31/318 主分类号 G01R31/3183
代理机构 代理人
主权项
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