| 发明名称 |
INSTRUMENT FOR DETECTING END POINT IN DRY TYPE TREATMENT FOR DRY TYPE TREATING APPARATUS AND METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH116070(A) |
申请公布日期 |
1999.01.12 |
| 申请号 |
JP19970149492 |
申请日期 |
1997.06.06 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
YOSHIDA NAOMI;SUZUKI YUMI;MITANI KATSUMI;MAEDA YUJI |
| 分类号 |
C23C16/44;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C16/44;H01L21/306 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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