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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR MEASURING GATE LENGTH OF MOSFET DEVICE
摘要
申请公布号 JPH118282(A) 申请公布日期 1999.01.12
申请号 JP19970158554 申请日期 1997.06.16
申请人 NEC CORP 发明人 HATANAKA YUKICHI
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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