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发明名称 Photoresist composition
摘要
申请公布号 EP0605089(B1) 申请公布日期 1999.01.07
申请号 EP19930308243 申请日期 1993.10.15
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BREYTA, GREGORY;KNORS, CHRISTOPHER JOHN;ITO, HIROSHI;SOORIYAKUMARAN, RATNAM
分类号 G03F7/004;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/039;C08F8/12 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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