发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Kompensation von Positionierfehlern
摘要
申请公布号 DE69322213(D1) 申请公布日期 1999.01.07
申请号 DE19936022213 申请日期 1993.08.04
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MATSUMOTO, KOUKI, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., HIGASHI-KU, NAGOYA-SHI, AICHI, JP
分类号 G05B19/18;G05B19/19;G05B19/404;(IPC1-7):G05B19/404 主分类号 G05B19/18
代理机构 代理人
主权项
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