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发明名称 Method for local oxidation of silicon
摘要
申请公布号 EP0428283(B1) 申请公布日期 1999.01.07
申请号 EP19900311779 申请日期 1990.10.26
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 发明人 LIU, YOWJUANG;LONGCOR, STEVEN W.;LIEN, JIH-CHANG
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L21/32;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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