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发明名称 Wafer processing system
摘要
申请公布号 EP0762483(B1) 申请公布日期 1999.01.07
申请号 EP19960114218 申请日期 1996.09.05
申请人 NIPPEI TOYAMA CORPORATION 发明人 MIYAZAKI, TAKESHIRO;TSUBATA, YOSHIKAZU;KAWAKITA, AKIO;KATSUMATA, NOBORU;NAKAYAMA, AKIHIRO;HARADA, TOYOKAZU;TAKAKU, MITSUO;YOSHIDA, SYUNSO
分类号 B28D5/00;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B28D5/00
代理机构 代理人
主权项
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