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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH113993(A) 申请公布日期 1999.01.06
申请号 JP19970153979 申请日期 1997.06.11
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TOYOFUKU TAKESHI
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8234;H01L29/423;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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