MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19970154188-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPH113886(A)	申请公布日期	1999.01.06
申请号	JP19970154188	申请日期	1997.06.12
申请人	HITACHI DENSHI LTD	发明人	ITO RYOICHI
分类号	H01L21/316;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/316	主分类号	H01L21/316
代理机构		代理人
主权项
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