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发明名称
摘要
申请公布号 JP2843134(B2) 申请公布日期 1999.01.06
申请号 JP19900237664 申请日期 1990.09.07
申请人 TOKYO EREKUTORON KK 发明人 KONISHI NOBUO;TAKAMORI HIDEYUKI;AKUMOTO MASAMI;TATEYAMA KYOHISA
分类号 G03F7/16;B05C11/08;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):B05C11/08 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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