发明名称 CAPACITOR FOR MATCHING OF DISCHARGE CIRCUIT OF HIGH-FREQUENCY DISCHARGE GAS LASER
摘要
申请公布号 JPH114034(A) 申请公布日期 1999.01.06
申请号 JP19970155315 申请日期 1997.06.12
申请人 AMADA ENG CENTER:KK;AMADA CO LTD 发明人 MIKI NAOKI
分类号 H01S3/097;(IPC1-7):H01S3/097 主分类号 H01S3/097
代理机构 代理人
主权项
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